QReferate - referate pentru educatia ta.
Referatele noastre - sursa ta de inspiratie! Referate oferite gratuit, lucrari si proiecte cu imagini si grafice. Fiecare referat, proiect sau comentariu il poti downloada rapid si il poti folosi pentru temele tale de acasa.



AdministratieAlimentatieArta culturaAsistenta socialaAstronomie
BiologieChimieComunicareConstructiiCosmetica
DesenDiverseDreptEconomieEngleza
FilozofieFizicaFrancezaGeografieGermana
InformaticaIstorieLatinaManagementMarketing
MatematicaMecanicaMedicinaPedagogiePsihologie
RomanaStiinte politiceTransporturiTurism
Esti aici: Qreferat » Referate constructii

Metoda de crestere prin depunere chimica din faza de vapori (CVD)








Metoda de crestere prin depunere chimica din faza de vapori (CVD)


CVD este o metoda puternica in tehnologia actuala. Ea permite:

- realizarea unor straturi epitaxiale la temperaturi (θce) inferioare temperaturi de topire (θt);

- controlul relativ simplu al grosimii stratului epitaxial si a doparii (uniforme) a acestuia;

- perfectiune cristalina ridicata a stratului (mai ales in varianta homoepitaxiala);




- folosirea unor presiuni 'rezonabile' in reactor (0.1-3 atm) evitand dificultatile tehnologice pentru producerea unui vid inaintat;

- cresterea unor straturi compuse (multi component).

Exista sigur si unele dezavantaje legate de:

- complexitatea fazei de vapori; «urme ale gazului purtator in stratul depus;

- reactii chimice nedorite; interdifuzii strat - substrat; autodopare;

- echipamentul CVD se poate realiza in diferite variante de reactoare: verticale, orizontale, Barrel, Pancake, etc, in functie de tipul epitaxiei si productivitatea necesara.

In general, trebuie asigurate:

- incalzirea uniforma a plachetelor;

- racirea peretilor reactorului cu aer sau apa de racire.



Fig.6. Reactor pentru crestere epitaxiala a straturilor dopate de siliciu


Doparea poate fi realizata ingloband in gazul purtator specii dopante (fig. 6) cum ar fi diboran B2H6 (gaz), pentru B in siliciu sau fosfina (PH3), arsina (AsH3) pentru dopanti de tip n cum ar fi fosfor respectiv arseniu.




loading...



Nu se poate descarca referatul
Acest referat nu se poate descarca

E posibil sa te intereseze alte referate despre:


Copyright © 2020 - Toate drepturile rezervate QReferat.ro Folositi referatele, proiectele sau lucrarile afisate ca sursa de inspiratie. Va recomandam sa nu copiati textul, ci sa compuneti propriul referat pe baza referatelor de pe site.
{ Home } { Contact } { Termeni si conditii }